酸化物成膜装置及び酸化亜鉛コーティング基板 株式会社陶喜では、京都大学との共同研究開発により、大気圧下でミストCVD法(Mist CVD)を用いて酸化物の成膜の開発、製品化を進めています。 ミストCVD法(Mist CV …
ミストCVD(Mist CVD)開発の経緯 私は(株)神戸製鋼所勤務中の1994年から3カ年ほど(財)国際超電導産業技術研究センターへ出向し酸化物超電導材料の研究をしました。その中で超電導の構成元素を溶液の中で均一に分 …
ミストCVD(Mist CVD)に関する発表論文 Tadanaga J Asian Ceram Soc LTO thin film by mist CVD(PDF/1.1MB)【NEW!】 Faraday effect …
(株)陶喜の所有するミスト及びミストCVD関連の特許案件 発明の名称 出願日 出願番号 特許番号 成膜方法及び成膜装置 2004/4/19 2004-122834 5124760 成膜用霧化装置 2004/4/19 2 …